XPS (engl. X-ray photoelectron spectroscopy) ist eine Methode zur Bestimmung der Elementzusammensetzung und der Bindungszustände von Oberflächen. Das Messprinzip beruht auf dem photoelektrischen Effekt: durch Röntgenstrahlung bekannter Energie werden Elektronen aus der Atomhülle gelöst. Über die Messung der kinetischen Energie der Elektronen kann anschließend die Bindungsenergie bestimmt werden. Insgesamt werden nur Elektronen aus den oberen Monolagen (3-10 nm) detektiert, d.h. XPS ist eine sehr oberflächensensitive Technik. Am IOT wird das PHI 5500 ESCA der Firma Physical Electronics GmbH eingesetzt.
Ansprechpartnerin: Dipl.-Phys. Antje Jung
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