Die optische Emissionsspektroskopie wird zur Charakterisierung von festen, flüssigen oder gasförmigen Stoffen eingesetzt und basiert auf dem Prinzip, dass angeregte Atome oder Moleküle elektromagnetische Strahlung aussenden, wenn Elektronen auf niedrigere Energieniveaus fallen. Innerhalb des Instituts für Oberflächentechnik wird OES insbesondere für die Charakterisierung von Plasmen eingesetzt, um Informationen über vorhandene Spezies zu erhalten. Insgesamt liegen unterschiedliche Messgeräte und Glasfasern vor, die in definierten Wellenlängenbereich gute Intensitäten liefern. Generell lässt sich der Bereich zwischen 200 und 1000 nm hervorragend abbilden.
Ansprechpartner: M.Sc. Lars Bröcker
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