Superharte und verschleißbeständige Schichten (SVS)

Dozent: Priv.-Doz. Dr. S. Ulrich

Die Studierenden im Master-Studiengang erwerben Kenntnisse in verschiedenen Grundlagengebieten wie Härte, Tribologie, Niederdruckplasmaphysik, Zerstäubungstheorie, Computersimulationen, Strukturzonenmodelle und Modelle zur Eigenspannungsausbildung durch Ionenbeschuss. Sie besitzen die Fähigkeit jedes superharte verschleißbeständige Material anwendungsspezifisch mit Hilfe der Dünnschichttechnologie zu synthetisieren und charakterisieren. Durch eigene Versuche im Laborteil des Moduls sind die erworbenen Kenntnisse vertieft und in der Praxis an mehreren Beschichtungsanlagen erprobt worden

Inhalte:

• Einführung in die Theorie der Härte
• Einführung in die Tribologie
• Einführung in die Niederdruckplasmaphysik
• Niederdruckplasmen mit überlagerten elektrischen und magnetischen Feldern
• Plasmadiagnostik und Teilchenflussanalyse
• Zerstäubungstheorie
• Computersimulationen im Bereich des Schichtwachstums
• Strukturzonenmodelle und Modelle zur Ausbildung von Eigenspannungen durch Ionenbeschuss
• Kubisches Bornitrid
• Diamantsynthese
• Diamantartige, amorphe Kohlenstoffe, Siliziumkarbid und Borkarbid
• Kohlenstoff-basierte Nanokomposite
• Ternäre und quarternäre Hartstoffe und Viellagenschichten

Die Vorlesung findet im Wintersemester statt