Dozenten: M.Sc. Lars Bröcker / Prof. Dr. C.-P. Klages
2 V + 1 Ü, Mittwoch, V: 13:15 - 14:45, Ü: 15:00 - 15:45, Fraunhofer-IST, Riedenkamp 2, 38108 Braunschweig
Plasmen sind in der Schicht- und Oberflächentechnik von entscheidender Bedeutung für eine Vielzahl von Verfahren, z.B. Schichtabscheidung (Sputtern, PECVD, Plasmaspritzen…), Plasmaätzen oder Oberflächenmodifikation. Um diese Prozesse zu verstehen, ist ein Verständnis der physikalisch-chemischen Vorgänge im Plasma von essentieller Bedeutung. In der Vorlesung werden grundlegende Wechselwirkungen von Teilchen in Plasmen sowie verschiedene Arten von Plasmen und deren jeweilige praktische Anwendung vorgestellt, um so die Basis für ein tiefgehendes Verständnis von plasmachemischen Prozessen zu bilden.
Die Vorlesung findet im Wintersemester statt.
für Vorlesungen, Seminarvorträge und Prüfungen:
Vorlesungen und Seminarvorträge des IOT finden im Fraunhofer IST, Riedenkamp 2, 38108 Braunschweig statt.
Prüfungen werden im Raum I.2.62 im 2. OG im Riedenkamp 2 durchgeführt.
Technische Universität Braunschweig
Institut für Oberflächentechnik
Riedenkamp 2
38108 Braunschweig