Charakterisierung von Oberflächen und Schichten (COS)

Dozent: Prof. Dr. M. Thomas

2 V + 1 Ü, Dienstag, 13:15 - 14:45 Uhr, Übung nach Vereinbarung, Fraunhofer-IST, Bienroder Weg 54 E, Riedenkamp 2, 38108 Braunschweig

Die Studierenden lernen in der Vorlesung Verfahren zur Bestimmung der Topographie, Schichtdicke, Zusammensetzung und inneren Struktur von Schichten in ihren Grundzügen kennen. Sie bekommen einen Überblick über gängige Verfahren zur Charakterisierung mechanischer, elektrischer und optischer Eigenschaften von dünnen und ultradünnen Schichten sowie der Benetzungseigenschaften von Oberflächen.

Inhalte:

• Ellipsometrie
• IR-Absorptionsspektroskopie und Raman-Spektroskopie
• UV/Vis-Spektroskopie
• Charakterisierung von Schichten mit Röntgen- und Elektronenstrahlen
• Elektrische Eigenschaften
• Mechanisch-tribologische Eigenschaften
• Benetzung und Oberflächenspannung
• Schutz gegen mechanische und korrosive Beanspruchung

Die Vorlesung findet im Sommersemester statt