Struktur und Eigenschaften von Funktionsschichten (SEF)

Dozenten: Prof. Dr. G. Bräuer / Dr. R. Bandorf

2 V + 1 Ü, Donnerstag, 11:30 - 13:55 Uhr, Fraunhofer-IST, Riedenkamp 2, 38108 Braunschweig

Die Vorlesung befasst sich mit der Frage, wie die Eigenschaften von Schichten mit ihren Strukturen zusammenhängen und was wiederum die Strukturen von Schichten bestimmt. Im Vordergrund stehen PVD-Schichten, wie sie am Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik für verschiedenste Anwendungen entwickelt werden.

Inhalte:

• Einführung
• Klassifizierung der Schichtherstellungsverfahren
• PVD-Techniken
• Zonendiagramme
• Schichtbildungsmodelle: Ballistische Deposition, Abschattung, Oberflächendiffusion
• Grundbegriffe der Kinetischen Gastheorie
• Energetische Teilchen in PVD-Prozessen: Entstehung, Thermalisierung, Einflüsse auf das Schichtwachstum
• Elektrische Schichteigenschaften
• Innere Schichtspannungen
• Optische Schichteigenschaften

Die Vorlesung findet im Sommersemester statt.