Analytik und Prüfung in der Oberflächentechnik (APO)

Die moderne Oberflächentechnik ist undenkbar ohne eine umfassende Analytik und Prüfung - sei es im Rahmen der Entwicklung neuer Schichtmaterialien oder Beschichtungsprozesse oder zum Zwecke der Qualitätskontrolle. Die Lehrveranstaltung behandelt eine Reihe wichtiger Verfahren, die heute benutzt werden, um Oberflächen und Schichten zu untersuchen, wie

• die äußeren geometrischen Eigenschaften (Schichtdicke, Rauheit) durch z.B. mechanische (Profilometrie, AFM) und optische Messverfahren (Ellipsometrie)
• ihre Elementzusammensetzung durch Röntgenverfahren (XPS, EPMA) und spektroskopische Verfahren (SIMS, GDOES)
• ihren inneren Aufbau (kristalline Struktur, Phasen) durch z.B. XRD

Die Behandlung der Messung bzw. Prüfung physikalischer Eigenschaften von Oberflächen und Schichten orientiert sich in erster Linie an den für Anwendungen wichtigen mechanischen, elektrischen und optischen Parametern. Besonderer Wert wird in der Veranstaltung auf ein Verständnis der Funktionsweise der Messverfahren gelegt werden.

Inhalte:

• Schichtdicke
• Rauheit, Oberflächentopografie
• Elementzusammensetzung
• Innere Struktur
• Mechanische und elektrische Eigenschaften

Die Vorlesung findet im Sommersemester statt.