Viele technische Produkte weisen Oberflächen auf, die zur Erfüllung ihrer Funktion spiegelnd reflektierend oder transparent ausgeführt sind. Neben dem verbreiteten Einsatz als optische Funktionsflächen, wie etwa bei Spiegeln und Linsen, dienen entsprechende Oberflächen auch oftmals der Produktästhetik. In diesen und weiteren Anwendungsfällen ist es zur Sicherstellung der vom Kunden erwarteten Produktqualität erforderlich, auch kleine Oberflächendefekte zu lokalisieren und zu klassifizieren.
Koordinatenmessgeräte mit taktilen Sensoren sind universell einsetzbar und als Standard in der geometrischen Messtechnik akzeptiert. Für zahlreiche Messaufgaben stellt jedoch die taktile Antastung keine optimale Lösung dar. Durch die Kombination mit optoelektronischen Sensoren und Bildverarbeitung lassen sich viele Messaufgaben schneller und effizienter lösen. Dabei sind jedoch die Besonderheiten der unterschiedlichen Sensorarten zu beachten.
In der Produktion von Mikrostrukturen haben taktile Messverfahren nur eine geringe Bedeutung, da sie bisher nicht hinreichend an deren Erfordernisse angepasst wurden. Das serielle Antasten verschiedener Messpunkte auf einer Wafer-Oberfläche ist sehr zeitintensiv. Zu diesem Zweck wird am Institut für Produktionsmesstechnik ein Ansatz erarbeitet, der es erlaubt mehrere Objekte bzw. Objektpunkte parallel anzutasten.
Hochgeschwindigkeitskameras sind charakterisiert durch eine Bildwiederholrate, die deutlich größer als die üblichen 25 fps (frames per second = Bilder pro Sekunde) ist. Sie erlauben damit die Beobachtung von Prozessen, die ansonsten nicht zeitlich aufzulösen wären. Hierbei werden Serien von Bildern genutzt, um der zeitlichen Entwicklung eines Prozesses folgen zu können. Es sind besondere technische Lösungen für das kurzzeitige Speichern von großen Datenmengen erforderlich.