Die Werkstatt des Instituts für Mikrotechnik stellt Bauteile, Hilfsmittel und Versuchsträger in vielen verschiedenen Materialien her (Stahl, Kunststoffen und Legierungen). Sie u.a. verfügt über Drehmaschinen, eine 3-Achs-Fräsmaschiene, unterschiedliche Hohnmaschinen und Schleifmaschinen.
Die Bauteile können im Mikrobereich mit Toleranzen bis zu 2 µm hergestellt werden.