Hersteller
Typ
Baujahr
X-Y-Z-Achse
- Verfahrweg
- X/Y = 350x200 mm
- Z = 200 mm
- Auflösung = 0,1 µm
- Positioniergenauigkeit = +/-2 µm
A-B-Achse
- Indexierachse
- Auflösung = 0,01°
C-Achse
- Hochpräzise indexierbare Rotationsspindel mit automatischem Elektrodenvorschub und interner Spülung
- Auflösung = 0,00625°
- Präzisionsgenauigleit =< 0,05°
- Wiederholbarkeit = +/-0,01°
- Rundlauf = +/-2µm
- Rotationsgeschwindigkeit = 0..600 rpm
Generator
- SX-MFPS Micro Fine Pulse Generator
Drahterodiereinheit