Das Taststiftgerät Dektak 8 charakterisiert die Schichtdicke, die Rauheit, die Belastung und die Defekte bei Proben bis zu einer Länge von 200 mm (8 Zoll). Die Low-Power-Tip-Technologie des Systems, die Langzeit-Scanning-Fähigkeit und die vielseitige Datenanalyse-Software ermöglichen Anwendungen wie:
Der Dektak 8 führt Messungen elektromechanisch durch, indem dieser einen Diamant- oder Silikon-Tip-Stift über die Probe bewegt. Das Gerät bewegt den Stylus nach einer benutzerprogrammierten Scanlänge, Geschwindigkeit und Styluskraft. Während der Scanaufbau die Bühne und die Probe bewegt, fährt der Stylus über die Probenoberfläche. Oberflächenvariationen bewirken, dass der Stylus vertikal bewegt wird. Diese Bewegungen werden in elektrische Signale umgewandelt und durch einen integrierten Analog-Digital-Wandler in ein digitales Format übersetzt.
Die digitalisierten Signale von einem einzelnen Scan werden im Computer gespeichert und als Profilkurve auf dem Display ausgegeben. Der Dektak 8 speichert Programme, die sich leicht an den Laboreinsatz (Profil, Rauheit, Durchbiegungsmessung, etc.) anpassen lassen.
Hersteller
Typ
Substrate/Wafer
Stylusgrößen
Messbereich (mit zugehöriger vertikaler Auflösung)
Scan Länge
Auflagekraft
Stage Bewegungsreichweite
XY-Positioniersystem
Maximale XY-Auflösung
Kameras
Maximales Probendicke
Maximales Probengewicht