Die Rasterelektronenmikroskopie wird in der Regel zur morphologischen und analytischen Untersuchung von Oberflächen eingesetzt. Dabei sind aufgrund der großen Schärfentiefe sowohl sehr glatte als auch besonders rauhe Oberflächen abzubilden. Das hohe Auflösungsvermögen ermöglicht hohe Vergrößerungen von Mikro- und Nanostrukturen. Durch die Erzeugung von charakteristischen Röntgenstrahlen ist die Möglichkeit zur Röntgen-Mikrobereichsanalyse gegeben, um Angaben über die lokal in einem Probenbereich vorhandenen Elemente zu machen. Das Signalerzeugende System besteht aus einem Filament (Wolfram-Haarnadelkathode), einem Wehnelt-Zylinder und einer Anode. In der darunterliegenden Mikroskop-Säule wird der erzeugte Elektronenstrahl durch ein Linsensystem verkleinert, so dass ein möglichst kleiner Strahldurchmesser auf der Probe entsteht.
Die zu untersuchenen Proben können mithilfe einer Beschichtungsanlage mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen werden. Das Gerät (Cressington 108auto Sputter Coater) kann Dünnschichten aus Gold, Gold/Palladium, Silber, Kupfer oder Graphit aufsputtern.
Hersteller
Typ
Beschleunigungsspannung und Strahlstrom
Blenden
Präparatkammer
Präparattisch