Das Phenom XL bietet die Möglichkeit Substrate mit bis zu 10 mm Durchmesser mit geringem Zeitaufwand rasterelektronenmikroskopisch mit Vergrößerungen bis zu 100.000x zu untersuchen. Ein lichtmikroskopisches Übersichtsbild der Probenkammer erleichtert hierbei die Orientierung auf der Probe.
Die zu untersuchenen Proben können mithilfe einer Beschichtungsanlage mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen werden. Das Gerät (Cressington 108auto Sputter Coater) kann Dünnschichten aus Gold, Gold/Palladium, Silber, Kupfer oder Graphit aufsputtern.
Hersteller
Typ
Beschleunigungsspannung und Strahlstrom
Präparatkammer
Vakuum
Detektor
Vergrößerung
Arbeitsabstand
Probenladezeit