Der Maskenschreiber Heidelberg Instruments DWL-66 ist ein Belichtungsgerät zur Maskenherstellung. Durch die präzise Steuerung des Laserkopfes und der Ausrichtung wird eine Lithografie mit einer Auflösung von 800 nm erzeugt.
Hersteller
Typ
Schreibköpfe
Kleinste Strukturbreite
Verwendete Maskenblanks