Dünnschichttechnik

Inhalt:

• Definitionen, Schichtsysteme, Legierungen und Verbindungen
• Wachstumsmodell: Adsorption, Lebensdauer adsorbierter Species, Haftkoeffizient ("sticking coefficient"), Oberflächendiffusion, Chemosorption, Nukleation, Koaleszenz, reale Oberflächen, Oberflächenpassivierung, Oberflächenenergie, Wachstumsmodi
• Epitaxie und Abscheidung: Schichtmorphologie, Texturierung, Vakuumanforderungen, Konvektion, Diffusion, Molekularfluss, Kollisionsquerschnitt, freie Weglänge
• Aufdampfen: Thermodynamik, Aufdampfen von Legierungen und Verbindungen
• Molekularstrahlepitaxie, Knudsen-Zelle
• Kathodenzerstäubung (Sputtern), Ionisationsmechanismen, HF-Sputtern, Magnetronsputtern, reaktives Sputtern, Ionenstrahl-Sputtern
• Chemischen Gasphasen-Abscheidung (CVD): Reaktionen, Thermodynamik und Kinetik der CVD, unterschiedliche Typen von CVD: LPCVD, PECVD, MOCVD, ALD
• Galvanik
• Langmuir-Blodget-Schichten
• Monitoring und Kontrolle der Schichtabscheidung
• Anwendungen von Dünnschichttechnik und Ausblick

Prüfung: mündlich

Skript: wird während der Vorlesung verteilt.
wird gelesen: jeweils im SS

Ansprechperson: apl. Professor Dr. Bakin / N. N.