Vorlesung für Studierende der Elektrotechnik (7. Semester) aus allen Studienschwerpunkten mit den Vertiefungsrichtungen Mikroelektronik, Messtechnik, Photonik und Funktionswerkstoffe sowie des Maschinenbaus mit der Studienrichtung Produktions- und Systemtechnik
Inhalt: Mikromechanische Sensoren auf Halbleiterbasis, Oberflächen- und Volumenmikromechanik, Feder-Masse-Schwinger; elektro- und optomechanische Wandler, Übertragungsfunktion, Rauschen, Fertigungstechnologie und Prozesssimulation; faseroptische Signalauslesung, mikro-opto-elektro-mechanische Systeme (MOEMS); Maschinenüberwachung mit Halbleitersensoren, resonante Vibrationsmessung.
Prüfung: mündlich
Skript: wird während der Vorlesung verteilt.
wird gelesen: jeweils im WS
Ansprechperson: apl. Prof. Dr. rer. nat. E. Peiner / N. N.