TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik / LENA
Langer Kamp 6a (Raum 211)
38106 Braunschweig
Tel.: 0531 391-65332
Fax: 0531 391-5844
E.Peiner(at)tu-braunschweig.de
Scopus Author ID: 7003588121 Google Scholar
Arbeitsgebiete | Piezoresistive MEMS-Cantileversensoren, Taktile Mikrosonden für die Oberflächenmesstechnik (Form, Rauigkeit, Viskoelastizität), MEMS-Resonatoren für die Messung von Ultrafeinstaub und Gasen, Nanodraht-Arrays für Energy Harvesting |
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Lehre | Grundlagen der Elektronik (Ü), Halbleitersensoren - Grundlagen und Anwendungen (V), Halbleitermesstechnik (V), Aufbau- und Verbindungstechnik in der Elektronik (V) |
Geförderte Forschungsprojekte:
Promotionen:
M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E Peiner, "Analysis of asymmetric resonance response of thermally excited silicon micro-cantilevers for mass-sensitive nanoparticle detection", J. Micromech. Microeng. 27 (2017) 064001 (10pp); https://doi.org/10.1088/1361-6439/aa6b0d.
Gerry Hamdana, Tobias Südkamp, Marion Descoins, Dominique Mangelinck, Lorenzo Caccamo, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Hartmut Bracht, Erwin Peiner, "Towards fabrication of 3D isotopically modulated vertical silicon nanowires in selective areas by nanosphere lithography", Microelectronic Engineering 179 (2017) 74-82; http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.030.
G. Hamdana, M. Bertke, L. Doering, T. Frank, U. Brand, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander spring system", J. Sens. Sens. Syst. 6 (2017) 121–133, doi:10.5194/jsss-6-121-2017.
F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H. Schumacher, E. Peiner, H. S. Wasisto, A. Waag, "GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors", Nanotechnology 28 (2017) 095206 (9pp); doi: 10.1088/1361-6528/aa57b6.
L. Doering, U. Brand, S. Bütefisch, T. Ahbe, T. Weimann, E. Peiner, T. Frank, "High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures", Meas. Sci. Technol. 28 (2017) 034009 (9pp); doi:10.1088/1361-6501/28/3/034009.
G. Hamdana, H. S. Wasisto, L. Doering, C. Yan, L. Zhou, U. Brand, E. Peiner, "Double meander spring silicon piezoresistive sensors as micro force calibration standards", Opt. Eng. 55(9), 091409 (2016), doi:10.1117/1.OE.55.9.091409, open access.
H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment“, Build. Environ. 95 (2016) 13-20; doi: 10.1016/j.buildenv.2015.09.013.
A. Stranz, A. Waag, E. Peiner, "Investigation of thermoelectric parameters of Bi2Te3 - TEGs assembled using pressure-assisted silver powder sintering-based joining technology”, J. Electron. Mater. 44 (2015) 2055-2060; DOI: 10.1007/s11664-015-3655-2.
Dissertation/Habilitationschrift/Buchkapitel:
Jiushuai Xu und Erwin Peiner, "Dimensional-Nanopatterned Piezoresistive Silicon Microcantilever for Environmental Sensing", in "Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors", Editor: Dr. Zhuoqing Yang (Springer Nature Switzerland AG, 2022), 19-47; https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-030-79749-2_2.
Jiushuai Xu and Erwin Peiner,
"Resonant Silicon Microcantilevers for Particle and Gas Sensing",
in "Piezoelectric Sensors", Editor: Prof. Dr. Peter Lieberzeit, in Springer Series on Chemical Sensors and Biosensors 18: Methods and Applications, Series Editor: Gerald Urban (Springer Nature Switzerland AG, Cham, Switzerland, 2024), pp. 291-338; https://link.springer.com/chapter/10.1007/5346_2023_33.
Beiträge in internationalen, begutachteten Zeitschriften:
Veröffentlichungen in Zeitschriften und Forschungsberichten:
Beiträge zu internationalen, wissenschaftlichen Konferenzen:
Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012003; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012003
Prabowo Puranto, Qiang Zhang, Wilson O. Nyang’au, Jannick Langfahl-Klabes, Jan Thiesler, Mutaib Zackaria, Zhi Li, Hutomo S. Wasisto, Erwin Peiner, Uwe Brand, "Influence of eccentric nanoindentation on top surface of silicon micropillar arrays”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012008; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012008
Jiushuai Xu and Erwin Peiner, "Micromachined Silicon Cantilever Resonator-Based Humidity Sensors for Multifunctional Applications”, The 37th IEEE Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2021), 25-29 January, DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375323.
M. Fahrbach, M. Xu, U. Brand und E. Peiner, “Self-excited Contact Resonance Operation of a Tactile Piezoresistive Cantilever Microprobe with Diamond Tip”, SMSI 2021 Conference – Sensor and Measurement Science International, pp. 73 – 74; DOI 10.5162/SMSI2021/A5.4; https://www.ama-science.org/proceedings/details/3948.
M. Fahrbach, W. O. Nyang’au, O. Domanov, C. H. Schwalb, M. Xu, Z. Li, C. Kuhlmann, U. Brand und E. Peiner, “Gedämpfte Silizium Mikrotaster für Hochgeschwindigkeits-Rauheitsmessungen, Damped silicon micro probes for high-speed roughness measurements”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2021, 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, (VDE-Verlag, Berlin 2021); ISBN: 978-3-8007-5656-8; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9698292
Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Petr Klapetek, Jan Martinek, Erwin Peiner, "Contact Resonance Imaging with Vertical Nanowire Arrays", Sensoren und Messsysteme 2022 ∙ 10. – 11.05.2022, Nürnberg, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 245 - 250, ISBN 978-3-8007-5835-7 245; https://ieeexplore.ieee.org/document/9861903.
Andam Deatama Refino, Jiushuai Xu, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “High-aspect-ratio silicon nanowire arrays by cryogenic and chemical etching”, International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes (PlaCEP 2022), Orleans, France, 16th to 19th of May 2022, sciencesconf.org:placep:399205; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03669219/document#page=38.
Frank Eric Anang, Jiushuai Xu, Angelika Schmidt, Markys Cain, Erwin Peiner, “Zinc Oxide Nanowire Arrays Growth on Patterned Silicon Substrate for Piezoelectric Energy Harvesting”, 9. GMM-Workshop “Mikro-Nano-Integration”, RWTH Aachen, 21. – 22. November 2022, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 66 - 70; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/10025931.
Defang Li, Jinying Zhang, Jiushuai Xu, Erwin Peiner, Zhuo Li, Xin Wang, Suhui Yang, Yanze Gao, “Ultra-Large Pixel Array Photothermal Transducer and its Thermal Performance Prediction Strategy”, Proc. 36th Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023), Munich, 15 – 19 January 2023 (IEEE, 2023), pp. 1147 - 1150; DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052516.
Jiushuai Xu, Entian Cao, Michael Fahrbach, Vladislav Agluschewitsch, Andreas Waag, Erwin Peiner, “Real-Time Operation of Microcantilever-based In-plane Resonators Partially Immersed in a Microfluidic Sampler”, Proc. 36th Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023), Munich, 15 – 19 January 2023 (IEEE, 2023), pp. 1037 – 1040; DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052263.
Beiträge zu nationalen, wissenschaftlichen Tagungen:
Patente/Patentanmeldungen:
Vorträge/Lectures:
Habilitation:
Dissertation:
Diplomarbeit:
1960 geb. in Bad Münstereifel, Rheinland
Schulausbildung:
1966-70 Katholische Volksschule, Antweiler, Kreis Euskirchen, Rheinland
1970-79 Abitur, Städt. Emil-Fischer-Gymnasium Euskirchen
Wehrdienst:
1979-80 Pionier-Batallion 610, Lübeck
Akademische Laufbahn:
1980-82 Vordiplom Physik/Mathematik, Rhein. Friedrich-Wilhelms-Univ. Bonn
1982-85 Diplom Physik, Universität Bonn, Wahlpflichtfach: Informatik
1985-88 Promotion Dr. rer. nat., Univ. Bonn bei Prof. Dr. Konrad Kopitzki
Neuartige Legierungen durch Ionenstrahlmischen
Nebenfach: Theoretische Chemie
1986-88 Graduierten-Stipendium Land Nordrhein-Westfalen
1989-2000 Habilitation, Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig
Siliziumsensoren für die Maschinenüberwachung
seit 2015 außerplanmäßiger Professor
seit 2023 Professor
Berufliche Tätigkeiten:
1985-88 Wiss. Hilfskr./Angest., Univ. Bonn, Inst. f. Strahlen- und Kernphysik
seit 1989 Gruppenleiter, Akad. Dir. (seit 2008), TU Braunschweig
Halbleitersensorik/Mikrosystemtechnik
1992 Forschungsaufenthalt: Inst. f. Halbleiterphysik, Frankfurt (Oder)
Halbleitermesstechnik
2002 Industrietätigkeit: Volkswagen AG, Wolfsburg, Elektronik-Forschung
Zylinderdrucksensorik
Mitarbeit in Gremien:
seit 2008 ITG-GMM-Fachausschuss 4.7/Programmaussch. des Workshops
Mikro-Nano-Integration
2009-17 Programmausschuss der SPIE-Konferenz
Smart Sensors, Actuators and MEMS
2015-17 Co-Chair
2017 Co-Editor SPIE Proc. 10246: Smart Sens., Actuators, and MEMS VIII
2011-16 Kuratorium des St. Jakobushauses Goslar,
Akademie der Diözese Hildesheim
2018 Gast-Herausgeber (mit H. S. Wasisto) des Sonderbands
Cantilever Sensor in Sensors (mdpi)
2021 Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
Cantilever Sensors for Industrial Applications
2022 Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
Cantilever Sensors for Industrial Applications II
seit 2019 Editorial Board von Sensors (mdpi)
seit 2020 Editorial Board von Micromachines (mdpi)