Seit Ende 2005 haben wir einen eigenen Reinraum, der im Bereich der Arbeitsplätze die Klasse 100 und sonst 10000 hat. Der Reinraum grenzt direkt an das Dünnschichtfabrikationslabor an, was uns perspektivisch gestattet, die Vakuumanlagen über Schleusen direkt vom Reinraum aus mit Proben zu beschicken.
Im Reinraum befinden sich gegenwärtig das Zeiss-REM für die Elektronenstrahllithografie, die beiden Maskaligner der Fa. Suess für die optische Lithografie sowie eine Nassbank mit Fotolackschleuder, Heizplatte, DI-Wasser-Tauchbecken sowie beheizbarem Ultraschallbad.