Im Rahmen der Abschlussarbeit soll der Einfluss der Anregungsform in hochionisierten Plasmen (HIPIMS) untersucht werden. Für die Analyse werden unter anderem optische Emissionspektroskopie (OES) und Langmuirsonden eingesetzt. Des Weiteren werden mit den unterschiedlichen Anregungsformen Titanoxid-Schichten abgeschieden und hinsichtlich ihrer optischer Eigenschaften charakterisiert.
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Peter Kaestner