Es soll ein Prozess weiter erforscht werden, um additiv über Plasmavorbehandlung und nasschemische Prozesse Dehnungsmessstreifen herzustellen. Neben einer möglichst hohen Strukturauflösung, sollen auch die DMS charakterisiert werden und die Prozessstabilität entlang der Prozesskette untersucht und bewertet werden.
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Prof. Dr. Michael Thomas