Das Institut für Halbleitertechnik wurde 1965 als Lehrstuhl für Elektronik gegründet. Erster Institutsleiter bis 1985 war Prof. Dr. rer. nat. habil. Walter Schultz. Schwerpunkt der Arbeiten damals waren Silizium-Technologie und Bauelementmodellierung.
1987 übernahm Prof. Dr. rer. nat. Andreas Schlachetzki das Institut für Elektronik, das 1990 zum Institut für Halbleitertechnik umgewidmet wurde. Unter seiner Leitung wurden Arbeiten zur Optoelektronik mit konventionellen III/V-Halbleitern auf der Basis von Indiumphosphid und mikromechanischen Komponenten in Silizium aufgenommen. Der Reinraum mit der metallorganischen Gasphasenepitaxie-Anlage wurde realisiert. Insbesondere die monolithische Integration von Elektronik, Mikromechanik und Optoelektronik waren Schwerpunkte der Untersuchungen.
Auf dem Foto rechts sind die drei bisherigen Institutsleiter zu sehen: der aktuelle Leiter Prof. Andreas Waag wird eingerahmt vom Institutsgründer Prof. Walter Schultz (links) und seinem Nachfolger Prof. Andreas Schlachetzki.
Das Foto entstand Ende 2007 anlässlich der Instituts-Weihnachtsfeier.
Seit 2003 leitet Prof. Dr. rer. nat. habil. Andreas Waag das Institut für Halbleitertechnik. Im Jahr 2005 wurde das Institut für Elektrophysik mit dem Institut für Halbleitertechnik zusammengelegt. Das Hauptaugenmerk der aktuellen Forschung liegt auf III/V-Halbleitern mit großem Bandabstand (GaN und ZnO), Nanostrukturen und mikromechanischen Komponenten. Zurzeit werden Weißlicht-Leuchtdioden, Solarzellen, thermoelektrische Generatoren und Nanopartikel-Waagen hergestellt und untersucht.
Nach der Angliederung des Instituts für Elektrophysik (erster Leiter war Prof. Dr. rer. nat. Günter Lautz gefolgt von Prof. Dr. phil. nat. Roland Sittig) übernahm Prof. Dr. rer. nat. habil. Marc Tornow im Jahr 2006 eine Gruppe im Institut, die sich mit Molekular-Elektronik, Nanostrukturierung sowie Bio- und Nano-Sensorik beschäftigte.
Auf dieser Seite sind die promovierten ehemaligen Institutsmitarbeiter zu finden (beginnend im Jahr 1993) und das Thema der jeweiligen Dissertation.
| Dr.-Ing. Karsten Hansen | Technologien für die monolithische Integration einer optoelektronischen Sendestufe |
| Dr.-Ing. Andreas Lubnow | Integration epitaktischer InP-Schichten in Si-MOS-Schaltungen |
| Dr. rer. nat. Johannes Gregor Zwinge | Indiumphosphid-Strukturen aus der Metallorganischen Gasphasenepitaxie für optoelektronische Bauelemente |
| Dr.-Ing. Dipl-Phys. Dietmar Hahn | InGaAs-Gunn-Elemente für die optische Nachrichtenübertragung |
| Dr.-Ing. MSc. Guang-Ping Tang | MOVPE-Schichten aus III/V-Halbleitern auf (001)-Si-Substraten |
| Dr.-Ing. Ralf Klockenbrink | InGaAs-Photodetektoren für die Integration mit wellenleitenden Polymersubstraten |
| Dr.-Ing. Arne Bartels | Optimierung von III-V-Halbleiterschichten auf Si für einen optoelektronischen Empfänger |
| Dr.-Ing. Hartmut Iber | Spektroskopische Ellipsometrie an III/V-Halbleiterstrukturen |
| Dr.-Ing. Gunther Vollrath | Ionenstrahlätzung von Laserspiegeln auf InP-Basis |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Dirk Scholz | Mikromechanische Vibrationssensoren mit Faserauskopplung |
| Dr.-Ing. MSc. Shaobai Mo | Versetzungen und Verspannungen bei stark fehlangepasster Heteroepitaxie |
| Dr.-Ing. Mohsen Chahoud | Ätz- und Wachstumssimulation von Halbleitereinkristallen |
| Dr.-Ing. Dirk Wüllner | Rasterkraftmikroskopie an Nanostrukturen für Halbleiterlaser |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Detlef Fehly | Monolithische Integration optoelektronischer Bauelemente mit Silizium-Elektronik |
| Dr.-Ing. Thomas Schrimpf | Nanostrukturen in Indiumphosphid |
| Dr.-Ing. Peter Bönsch | Metallorganische Gasphasenepitaxie für Quantendraht-Laser auf InP-Basis |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Klaus Fricke | Heteromikromechanik |
| Dr.-Ing. Mihai Ursu | Modeling of quantum cascade lasers |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Dirk Piester | Nanostrukturen in Halbleiterbauelementen |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Carsten Brink | Effektive Massen in Quantendrähten |
| Dr.-Ing. Jacek Rudzki | Aufbaukonzepte für die Leistungselektronik mit der Niedertemperatur-Verbindungstechnik |
| Dr.-Ing. Arti Tibrewala | Piezoresistive Effect in Diamond-like Carbon Films |
| Dr. rer. nat. Dipl.-Chem. Marc Kreye | Optische Spektroskopie zur Untersuchung der Reaktivität komplexer Oxide |
| Dr.-Ing. Augustine Che Mofor | Fabrication and Characterization of Device Quality ZnO Nanostructures |
| Ph. D. Allan Glargaard Hansen | post doc |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Bianca Postels | Niedertemperatur-Wachstum von ZnO-Nanosäulen für optoelektronische Anwendungen |
| Dr.-Ing. M.Sc. Abdelhamid Elshaer | Molecular Beam Epitaxy Growth and Characterization of ZnO-based Layers and Heterostructures |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Eva Schlenker | ZnO based Nanostructures - Properties and Device Applicability |
| Dr.-Ing. Vladimir Petukhov | Electrical characterization of ZnO thin films grown by molecular beam epitaxy |
| Dr.-Ing. Mohamed Aid Mansur Al-Suleiman | Optical investigation of ZnO nanostructures aiming at UV optoelectronic applications |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Richard Neumann | Dreidimensionale LEDs auf Galliumnitridbasis - Struktur und Prozessierung |
| Dr.-Ing. Nicolas Heuck | Untersuchungen an silberbasierten Verbindungstechnologien für die Leistungs- und Hochtemperaturelektronik |
| Dr.-Ing. Andrej Stranz | Untersuchung von einkristallinem Bulk-Silizium und Silizium-Nanosäulen für die thermoelektrische generatorische Energieumwandlung |
| Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto | Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on micromechanical silicon cantilever resonators |
| Dr.-Ing. Vedran Bandalo | Nanopore-cavity devices for characterization of biological systems |
| Dr.-Ing. Ihab Muhammed Schukfeh | Semiconductor electrodes for molecular nanoelectronics |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Sönke Fündling | Metallorganische Gasphasenepitaxie 3-dimensionaler GaN-Strukturen: eine neue Optimierungsstrategie für LEDs |
| Dr.-Ing. Dipl.-Wirtsch.-Ing. Julian Kähler | Entwicklung eines Sinterverfahrens zur Chipmontage von Bauelementen und Sensoren für Hochtemperatur-Elektronik |
| Ph.D. Achyut Bora | post doc |
| Dr. rer. nat. Anshuma Pathak | Structural and electronic properties of organophosphonate monolayers on alumina and silicon oxide |
| Dr.-Ing. Alexander Wagner | Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen |
| Dr.-Ing. Dipl.-Phys. Xue Wang | Controlled Growth of GaN Columns and 3D Core-Shell LEDs by MOVPE |
| Dr.-Ing. Mahmoud Abdelfatah | Fabrication and Characterization of Low Cost Solar Cells based on Earth Abundant Materials for Sustainable Photovoltaics |
| Dr. rer. nat. Nico Lämmerhardt | Selbstorganisation von Halbleiterbausteinen durch DNA-Funktionalisation - ein Schritt auf dem Weg zu dreidimensionalen Systemen |
| Dr.-Ing. Matin Sadat Mohajerani | Optical and Structural Analysis of Three-Dimensional GaN and InGaN/GaN Core-Shell Microstructures |
| Dr.-Ing. Lorenzo Caccamo | Photoelectrochemical Properties of InGaN Photoanodes for Water Splitting |
| Dr.-Ing. Johannes Ledig | SEM-based nano-analytical methods for 3D semiconductor microstructures |
| Dr. rer. nat. Alaa-Eldin Gad | post doc |
| Dr.-Ing. Sebastian Franke | Räumliche Atomlagenabscheidung bei Atmosphärendruck zur Herstellung von Gaspermeationsbarrieren |
| Dr.-Ing. Xiaodang Wang | Tuning the Photoelectrochemical Functionality of Core-Shell H-doped TiO2 Nanorods by Hydrogen Surface Engineering |
| Dr.-Ing. Dennis Zillmann | Thermoelektrische Module basierend auf Halb-Heusler-Materialien |
| Dr. rer. nat. Davide Cammi | post doc |
| Dr.-Ing. Feng Yu | Vertical Field-Effect Transistors Based on 3D GaN Nanowire Arrays |
| Dr.-Ing. Gerry Hamdana | MEMS piezoresistive force sensors based on micro-/nanostructured silicon components |
| Dr.-Ing. Kseniia Zimmermann | Carbon Nanoparticles with Tailored Optical Properties for Sensing Applications |
| Dr.-Ing. Frederik Steib | Sputterepitaxie von Gruppe-III-Nitriden |
| Dr.-Ing. Jiushuai Xu | Three-Dimensional-Nanopatterned Resonant Silicon Microcantilevers for Gas Detection |
| Dr.-Ing. Maik Bertke | Mikroelektromechanischer Sensor zur Detektion und Charakterisierung von luftgetragenen Nanopartikeln |
| Dr.-Ing. Wilson Ombati Nyang‘au | Microcantilever-based measurement of mass and magnetic moment of liquidborne magnetic micro and nanoparticles |
| Dr.-Ing. Andi Setiono | Parasitic-crosstalk elimination in electrothermal piezoresistive cantilever resonators for real-time frequency-tracking operation |
| Dr.-Ing. Prabowo Puranto | Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching |
| Dr.-Ing. Michael Fahrbach | Piezoresistive Microcantilever-Tastsonde und Messsystem für die Kontakt-Resonanz-Profilometrie |
| Dr.-Ing. Nicolai Markiewicz | |
| Gerhard Palm | |
| Dr. rer. nat. Daria Bezshlyakh | |
| apl. Prof. Dr.-Ing. Hergo-Heinrich Wehmann | |
| Klaudia Stegert | |
| Nursidik Yulianto | |
| Seyed Asad Ali Zaidi | |
| Wenze Wu | |
| Prashant Tyagi | |
| Iqbal Syamsu | |
| Sasha Gorny | |
| Shinta Mariana | |
| Gregor Scholz | |
| Dr.-Ing. Linus Krieg | |
| Jan Meyer | |
| Dr.-Ing. Klaas Strempel |
