Mit den zwei neuen Großgeräten, einer Trockenätzanlage (PlasmaPro 100 für Reactive Ion Etching by Inductively Coupled Plasma) und einer Beschichtungsanlage (PlasmaPro 80 für Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition), werden die Prozessierungsmöglichkeiten am IHT nochmals erheblich erweitert.
Mehr Infos dazu im Bericht im TU Braunschweig Magazin:
