Das Weißlichtinterferometer ist ein Interferenzmikroskop mit Phasenschiebe- und Weißlichtmodus. Der Phasenschiebemodus (monochromatisches Licht, 520 nm) eignet sich für sehr glatte Oberflächen (rms < 0,2 Å) und Mikrostrukturen bis zu einem Höhenunterschied von 130 nm. Die Anwendung des Weißlichtmodus (weißes Licht, 520 nm) erlaubt Untersuchungen von größeren rauen Strukturen. Der 3-fache Objektivrevolver des Mikroskops ist mit einem 10-fachen, einem 20-fachen sowie einem 50-fachen Objektiv ausgestattet. Das System verfügt über einen manuellen x-/y-Tisch, der für größere Proben (z. B. Bremsscheiben) geeignet ist. Die technischen Spezifikationen des Mikroskops sind in der folgenden Tabelle zusammengefasst.
| Kamera | Sony XCST50 1/2“(9,5 µm/Pixel) |
|---|---|
| Datenformat (Pixel) | max. 640 x 478 |
| Vergrößerung | 10X/20X/50X |
| Absolute Genauigkeit | ≤1% |
| Laterale Auflösung (max.) | 0,5 µm |
| Höhenauflösung | ≤0,02 nm |
Zusätzlich verfügt die Mikroskop-Software über folgende Optionen: