In unserer Gruppe besitzen wir ein Rastersondenmikroskop (SPM) der Dänischen Firma DME (Abb. 1). Das Mikroskop verwendet einen Rohrpiezoscanner, d.h. die Sonde wird über die Probe gerastert, und gestattet das Rastern über eine maximale Fläche von 50 µm x 50 µm. Der maximale z-Bereich liegt bei 2,7 µm. Die nominelle Auflösung beträgt besser als 0,1 nm in z-Richtung und besser als 1 nm in x- und y-Richtung. Gegenwärtig haben wir die Optionen, das SPM im Kontakt-Modus (höchste Auflösung, erfordert aber nahezu glatte Oberflächen), im AC-Modus, wo der Cantilever mit der Messspitze mit einer Frequenz von etwa 170 kHz normal zur Probe oszilliert und die Regelelektronik Abweichungen in der Oszillationsamplitude und Phase für die Rekonstruktion der Probentopografie verwendet, sowie im MFM-Modus zu betreiben. Im Gegensatz zu den anderen Mikroskopiemethoden liefert das AFM eine echte 3D-Information und gestattet – im Vergleich zur Rastertunnelmikroskopie (STM) und Rasterelektronenstrahlmikroskopie (REM) - auch die Messung nichtleitender Proben.
In unserer Arbeitsgruppe verwenden wir das AFM vor allem zur Charakterisierung der Oberfläche von speziell behandelten Substraten (Abb. 2) sowie darauf gewachsenen Dünnschichten (Abb. 3) und zur Charakterisierung von fotolithografisch strukturierten Kanten.
In unserer Arbeitsgruppe verwenden wir das AFM vor allem zur Charakterisierung der Oberfläche von speziell behandelten Substraten (Abb. 2) sowie darauf gewachsenen Dünnschichten (Abb. 3) und zur Charakterisierung von fotolithografisch strukturierten Kanten.
Zusätzlich zu unseren Messungen an Dünnfilmen und Dünnschichtstrukturen sind wir auch dabei, im Rahmen des SFB 578 Untersuchungen an biologischen Proben in Flüssigkeit durchzuführen. Abb. 4 zeigt die AFM-Aufnahme eines Bacillus megaterium
Durch Verwendung einer magnetisch beschichteten Messspitze am Cantilever können mit dem SPM auch Magnetkraftmikroskopische Messungen durchgeführt werden.