PVD

Die Verfügbarkeit einer modernen Durchlauf-Vakuum-Beschichtungsanlage ermöglicht dem IOT die anwendungsorientierte Grundlagenforschung auf dem Gebiet der Schichtherstellung durch PVD-Verfahren (PVD: physical vapor deposition). Im Vordergrund stehen dabei gepulste Magnetron-Zerstäubungsprozesse zur Abscheidung von Schichten für Flachdisplays (z.B. transparent leitfähige Oxide), Solarzellen und Architekturverglasungen (z.B. photokatalytische Schichten oder schaltbare Spiegel). Auch diese Arbeiten finden in enger Kooperation mit anderen Instituten der TU Braunschweig und dem Fraunhofer IST statt.