Das konfokale Mikroskop „atos PLµ“ ist für die Untersuchung rauer Oberflächen geeignet. Es verfügt über einen 4-fachen Objektivrevolver mit einem 10-fachen, 20-fachen, 50-fachen und 100-fachen Objektiv. Die technischen Spezifikationen des Mikroskops sind in der folgenden Tabelle zusammengefasst.
| EPI 10X | EPI 20X | EPI 50X | EPI 100X | |
|---|---|---|---|---|
| Vergrößerung | 10x | 20x | 50x | 100x |
| Numerische Apertur | 0,3 | 0,45 | 0,8 | 0,9 |
| Optische Auflösung | 1,1 | 0,7 | 0,4 | 0,35 |
| Laterale Auflösung | 1,82 | 0,91 | 0,36 | 0,18 |
| Maximaler Flankenwinkel | 14 | 21 | 42 | 51 |
| Z-Auflösung | < 40 nm | < 20 nm | < 4 nm | < 4 nm |
Mit diesem Messsystem können Profile (einfach und erweitert), Topografien (einfach und erweitert) und schwarz-weiß Bilder von Oberflächen erfasst werden. Das System ist mit einem integrierten x-/y-Tisch ausgestattet, sodass automatisches Vermessen entlang der vorgegebenen x-/y-Koordinaten sowie das Aneinanderfügen von einzelnen Oberflächentopografie-Aufnahmen mit der sogenannten „Stitching“-Methode möglich ist.
Zusätzlich verfügt die Mikroskop-Software über folgende Optionen: