Atmosphärendruck-PACVD

Auf dem Gebiet der chemischen Gasphasenabscheidung bei Atmosphärendruck haben Plasmen Eingang in die Arbeit des Instituts gefunden. Das IOT besitzt ein weitgefächertes Know-How zu grundlegenden Fragestellungen der Plasmachemie von dielektrischen Barrierenentladungen (DBD, engl. dielectric barrier discharge), die sich bei Atmosphärendruck betreiben lassen und daher kostengünstige Alternativen gegenüber Niederdruckprozessen sind. Durch die enge Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IST werden Aspekte der Grundlagenforschung mit anwendungsrelevanten Aspekten der Nutzung von Atmosphärendruck-Plasmaverfahren verknüpft.

Themen, die im Bereich der PACVD-Verfahren zurzeit besonders interessant sind, betreffen die Plasmachemie in gepulsten Entladungen und im Afterglow des Plasmas sowie Mechanismen der Plasmapolymerisation. Mikroplasmen, insbesondere sogenannte Monofilamente, gewinnen immer mehr an Bedeutung in der Forschung, da grundlegende Prozesse anhand eines einzelnen Filaments erörtert werden können. Deshalb werden unter anderem die dort vorliegenden Abscheidemechanismen mit Modell-Präkursoren, wie z.B. HMDSO (Hexamethyldisiloxan) näher untersucht. Durch die am IOT vorhandene, ortsaufgelöste Analytik lassen sich auch Flächen im Mikrometerbereich tiefergehend analysieren. Mithilfe der Finite-Elemente-Software COMSOL (siehe auch -> hier) lassen sich weiterhin Konzentrationsverteilungen relevanter Spezies in und um die Plasmazone simulieren.

Wichtige Kooperationspartner sind unter anderem das Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie in Greifswald, Institute der TU Braunschweig (IFS, IPC, IMT etc.) und das Helmholtz-Zentrum für Infektionsforschung, HZI.