Mittels reaktivem Ionenätzen konnten an der TU Braunschweig im Institut für Halbleitertechnik und im Institut für Mikrotechnik - in Kooperation mit weiteren Instituten - Si Nanodrähte mit sehr hohen Selektivitäten geätzt werden. Diese Strukturen können z.B. in Energiegewinnung und -speicherung oder für Photovoltaik verwendet werden.
