Im April wurde am Institut für Halbleitertechnik eine neue Elektronenstrahl-Aufdampfe in Betrieb genommen. Die Leybold Anlage UNIVEX 600 kann bis zu 8" Wafer mittels eines Mehrtiegel-Elektronenstrahlverdampfer mit bis zu 6kW Leistung bedampfen und bietet zusätzlich die Oberflächenbehandlung mittels Ionenquelle.
Die Anlage wurde gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) im Rahmen der Exzellenzstrategie des Bundes und der Länder – EXC-2123 QuantumFrontiers – 390837967.
